Aliran proses spesifik paparan OLED berasaskan silikon boleh dibahagikan kepada lima bahagian, iaitu proses backplane (pengeluaran backplane pemandu), proses pemendapan wap, proses pembungkusan, proses badan skrin, dan proses modul:
(1) Fabrikasi backplate pemandu: backplate CMOS yang diperlukan untuk OLED berasaskan silikon dibuat menggunakan proses semikonduktor, diikuti dengan penggunaan pemendapan wap fizikal, pemendapan wap kimia, pendedahan cahaya kuning dan proses pembangunan, proses etsa, dan teknik lain untuk menghasilkan lapisan refleksi dan lapisan refleksi.
(2) Proses penyejatan: Terutamanya termasuk pembersihan substrat, penyejatan bahan organik, dan penyejatan bahan katod.
(3) Proses Pembungkusan: Pertama, pembungkusan filem OLED berasaskan silikon dibuat menggunakan peralatan PECVD dan ALD; Kemudian, dengan spin salutan bahan penapis warna organik dengan cahaya kuning, tiga warna utama (R, G, B) yang diperlukan untuk pengeluaran OLED berasaskan silikon terdedah dan dibangunkan untuk menyelesaikan proses pewarna.
(4) Teknologi badan skrin: Terutamanya termasuk pemotongan dan pembersihan kepingan skrin besar, serta langkah -langkah pemeriksaan elektrik dan visual. Selepas lulus pemeriksaan, mereka disimpan di gudang.
(5) Proses modul: Melalui pembersihan, ikatan pelekat, pemotongan, pemeriksaan penampilan, ikatan, salutan gam, pemeriksaan penampilan, dan ujian, ia matang dan dibungkus untuk penyimpanan selepas lulus pemeriksaan.