Le flux de processus spécifique des écrans OLED à base de silicium peut être divisé en cinq parties, à savoir le processus de panier de panier (production de plantes arrière du pilote), le processus de dépôt de vapeur, le processus d'emballage, le processus corporel de l'écran et le processus de module:
(1) Fabrication de plaques arrière du conducteur: Les plaques arrière CMOS requises pour les OLED à base de silicium sont fabriquées à l'aide de processus de semi-conducteurs, suivis de l'utilisation du dépôt physique de vapeur, du dépôt chimique de vapeur, des processus d'exposition et de développement de la lumière jaune, des processus de gravure et d'autres techniques pour créer des couches de réflexion anode et des couches de confinement anode.
(2) Processus d'évaporation: Comprend principalement le nettoyage du substrat, l'évaporation des matières organiques et l'évaporation des matériaux de la cathode.
(3) Processus d'emballage: Premièrement, l'emballage de film OLED à base de silicium est fabriqué à l'aide de l'équipement PECVD et ALD; Ensuite, par revêtement de spin, des matériaux de filtre de couleur organique avec lumière jaune, les trois couleurs primaires (r, g, b) requises pour la production d'OLED à base de silicium sont exposées et développées pour terminer le processus de colorisation.
(4) Technologie du corps de l'écran: comprend principalement la coupe et le nettoyage des pièces de grand écran, ainsi que des étapes d'inspection électrique et visuelle. Après avoir réussi l'inspection, ils sont stockés dans l'entrepôt.
(5) Processus du module: par le nettoyage, la liaison adhésive, la coupe, l'inspection de l'apparence, la liaison, le revêtement de colle, l'inspection d'apparence et les tests, il est mûri et emballé pour le stockage après avoir réussi l'inspection.