TFT-LCD sıvı kristal ekran işlemi, işlem sırasına göre dizi işlemi, paketleme işlemi ve modül işlemine ayrılır. Bu yazımızda dizi teknolojisinin ilk aşamasına detaylı bir giriş yapacağız.
Dizi işlemi, bir cam alt tabaka üzerinde TFT cihazlarının, piksellerin ve diğer desenlerin sistematik olarak yapıldığı yarı iletken işlemine benzer. Array teknolojisi, temizleme işlemini, CVD film oluşturma teknolojisini, Püskürtme film oluşturma teknolojisini, fotorezist veya fotorezist (PR) kaplamayı, geliştirme ve sıyırma teknolojisini, pozlama teknolojisini, ıslak aşındırma teknolojisini, kuru aşındırma teknolojisini vb. içerir. Son olarak, cam alt tabaka üzerinde 4-5 ince filmden oluşan bir desen oluşturulur.
Öncelikle cam alt tabakayı iyice temizleyin ve ardından bir film oluşturun (metal Püskürtme yöntemi, metal olmayan CVD yöntemi); Film oluşumundan sonra alt tabakaya PR uygulayın ve MASK ile açığa çıkarın. İstediğiniz deseni MASK'tan PR'ye aktarın. PR'nin ışığa duyarlı kısmı geliştirilip yıkandıktan sonra, geri kalan PR istenen modeldir; Aşındırma işlemine devam edilerek (genellikle metaller için ıslak aşındırma ve metal olmayanlar için kuru aşındırma), PR koruması olmayan film kaldırılır ve geride istenen film deseni bırakılır; Son olarak PR'yi kaldırın. Tavlama işlemi dizi işleminin sonunda yapılmalı ve denetim mühendisliği gerektiği gibi tüm dizi süreci boyunca gerçekleştirilmelidir.