Proces korzystania z ekranu ciekłokrystalicznego TFT-LCD dzieli się na proces matrycowy, proces pakowania i proces modułowy, zgodnie z kolejnością przetwarzania. W tym artykule szczegółowo omówimy pierwszy etap technologii macierzowej.
Proces matrycowy jest podobny do procesu półprzewodnikowego polegającego na systematycznym tworzeniu urządzeń TFT, pikseli i innych wzorów na szklanym podłożu. Technologia matrycowa obejmuje proces czyszczenia, technologię tworzenia filmu CVD, technologię tworzenia filmu przez napylanie, powlekanie fotorezystem lub fotorezystem (PR), technologię wywoływania i usuwania, technologię naświetlania, technologię trawienia na mokro, technologię trawienia na sucho itp. Na koniec na podłożu szklanym tworzy się wzór złożony z 4-5 cienkich warstw.
Najpierw dokładnie oczyść podłoże szklane, a następnie uformuj film (metoda napylania metalu, metoda CVD niemetalu); Po utworzeniu powłoki nałożyć PR na podłoże i naświetlić MASKĄ. Przenieś żądany wzór z MASK do PR. Po wywołaniu i wypłukaniu światłoczułej części PR, pozostały PR stanowi pożądany wzór; Kontynuując proces trawienia (zwykle trawienie na mokro w przypadku metali i trawienie na sucho w przypadku niemetali), folia bez zabezpieczenia PR jest usuwana, pozostawiając pożądany wzór folii; Na koniec usuń PR. Wyżarzanie powinno zostać przeprowadzone na końcu procesu układania, a inżynieria kontrolna powinna być przeprowadzana w trakcie całego procesu układania, w razie potrzeby.