Il flusso di processo specifico dei display OLED a base di silicio può essere diviso in cinque parti, vale a dire il processo di backplane (produzione di backplane del driver), processo di deposizione di vapore, processo di imballaggio, processo del corpo dello schermo e processo del modulo:
(1) Fabbricazione del backplate del conducente: le piastre di cMO richieste per gli OLED a base di silicio sono fabbricati utilizzando processi di semiconduttore, seguiti dall'uso della deposizione di vapore fisico, dalla deposizione di vapore chimico, dai processi di esposizione alla luce gialla e di sviluppo, processi di incisione e altre tecniche di creazione di strati di riflesso ANODE e anodi di configurazione.
(2) Processo di evaporazione: include principalmente la pulizia del substrato, l'evaporazione del materiale organico e l'evaporazione del materiale catodico.
(3) Processo di imballaggio: in primo luogo, l'imballaggio a pellicola OLED a base di silicio è fabbricato utilizzando l'equipaggiamento PECVD e ALD; Quindi, con il rivestimento del filtro a colori organici spin con luce gialla, i tre colori primari (R, G, B) richiesti per la produzione di OLED a base di silicio vengono esposti e sviluppati per completare il processo di colorazione.
(4) Tecnologia del corpo dello schermo: include principalmente il taglio e la pulizia di pezzi di grandi dimensioni, nonché passaggi di ispezione elettrica e visiva. Dopo aver superato l'ispezione, vengono conservati nel magazzino.
(5) Processo del modulo: attraverso la pulizia, il legame adesivo, il taglio, l'ispezione dell'aspetto, il legame, il rivestimento di colla, l'ispezione dell'aspetto e il test, è maturato e confezionato per lo stoccaggio dopo aver superato l'ispezione.