Η συγκεκριμένη ροή διεργασίας των οθονών OLED με βάση το πυρίτιο μπορεί να χωριστεί σε πέντε μέρη, δηλαδή στη διαδικασία backplane (παραγωγή backplane του οδηγού), στη διαδικασία εναπόθεσης ατμών, στη διαδικασία συσκευασίας, στη διαδικασία του σώματος οθόνης και στη διαδικασία της μονάδας:
(1) Κατασκευή πίσω πλάκας οδήγησης: Οι πλάκες CMOS που απαιτούνται για τις OLED με βάση το πυρίτιο κατασκευάζονται χρησιμοποιώντας διεργασίες ημιαγωγών, ακολουθούμενες από τη χρήση των φυσικών εναπόθεσης ατμών, της χημικής εναπόθεσης ατμών, των διεργασιών έκθεσης και ανάπτυξης του κίτρινου φωτός, των διεργασιών χάραξης και άλλων τεχνικών για τη δημιουργία στρωμάτων αντανάκλασης άνοδας και στρώματα περιορισμού άνοδων.
(2) Διαδικασία εξάτμισης: Περιλαμβάνει κυρίως τον καθαρισμό του υποστρώματος, την εξάτμιση οργανικού υλικού και την εξάτμιση υλικού καθόδου.
(3) Διαδικασία συσκευασίας: Πρώτον, η συσκευασία μεμβράνης OLED με βάση το πυρίτιο κατασκευάζεται χρησιμοποιώντας εξοπλισμό PECVD και ALD. Στη συνέχεια, με την επίστρωση από την επίστρωση από την περιστροφή υλικά φίλτρου χρώματος με κίτρινο φως, τα τρία βασικά χρώματα (R, G, B) που απαιτούνται για την παραγωγή OLED με βάση το πυρίτιο εκτίθενται και αναπτύσσονται για να ολοκληρωθεί η διαδικασία χρωματισμού.
(4) Τεχνολογία σώματος οθόνης: Περιλαμβάνει κυρίως την κοπή και τον καθαρισμό των τεμαχίων μεγάλης οθόνης, καθώς και των ηλεκτρικών και οπτικών βημάτων επιθεώρησης. Αφού περάσουν την επιθεώρηση, αποθηκεύονται στην αποθήκη.
(5) Διαδικασία μονάδας: Μέσω του καθαρισμού, της συγκόλλησης συγκόλλησης, της κοπής, της επιθεώρησης εμφάνισης, της συγκόλλησης, της επικάλυψης κόλλας, της επιθεώρησης εμφάνισης και της δοκιμής, ωριμάζει και συσκευάζεται για αποθήκευση μετά τη διέλευση της επιθεώρησης.