تنقسم عملية شاشة الكريستال السائل TFT-LCD إلى عملية الصفيف، وعملية التعبئة والتغليف، وعملية الوحدة وفقًا لترتيب المعالجة. سنقدم في هذه المقالة مقدمة تفصيلية للمرحلة الأولى من تقنية المصفوفة.
تشبه عملية المصفوفة عملية أشباه الموصلات المتمثلة في تصنيع أجهزة TFT، والبكسلات، وأنماط أخرى بشكل منهجي على ركيزة زجاجية. تتضمن تقنية المصفوفة عملية التنظيف، وتقنية تشكيل فيلم CVD، وتقنية تشكيل فيلم Sputter، وطلاء مقاوم الضوء أو مقاوم الضوء (PR)، وتقنية التطوير والتجريد، وتقنية التعريض، وتقنية النقش الرطب، وتقنية النقش الجاف، وما إلى ذلك. وأخيرًا، يتم تشكيل نمط من 4-5 أغشية رقيقة على الركيزة الزجاجية.
أولاً، قم بتنظيف الركيزة الزجاجية جيدًا، ثم قم بتشكيل فيلم (طريقة الرش المعدني، طريقة الأمراض القلبية الوعائية غير المعدنية)؛ تطبيق العلاقات العامة على الركيزة بعد تشكيل الفيلم وفضحه باستخدام MASK. انقل النمط المطلوب من MASK إلى PR. بعد تطوير وغسل الجزء الحساس للضوء من PR، فإن PR المتبقي هو النمط المطلوب؛ الاستمرار في عملية النقش (عادة النقش الرطب للمعادن والحفر الجاف لغير المعادن)، تتم إزالة الفيلم بدون حماية العلاقات العامة، تاركًا وراءه نمط الفيلم المطلوب؛ وأخيرا، قم بإزالة العلاقات العامة. يجب إجراء معالجة التلدين في نهاية عملية المصفوفة، ويجب إجراء هندسة الفحص طوال عملية المصفوفة بأكملها حسب الحاجة.