يمكن تقسيم تدفق العملية المحددة لشاشات OLED المستندة إلى السيليكون إلى خمسة أجزاء ، وهي عملية الطائرة الخلفية (إنتاج لوحة السائق الخلفية) ، وعملية ترسب البخار ، وعملية التغليف ، وعملية جسم الشاشة ، وعملية الوحدة النمطية:
(1) تصنيع اللوحة الخلفية للسائق: يتم تصنيع اللوحات الخلفية CMOS المطلوبة لـ OLEDs المستندة إلى السيليكون باستخدام عمليات أشباه الموصلات ، تليها استخدام ترسب البخار المادي ، وترسب البخار الكيميائي ، وعمليات التعرض للضوء الصفراء وعمليات التطوير ، وعمليات الحفر ، وغيرها من التقنيات لخلق طبقات انعكاس النتوء وطبقات الضعف.
(2) عملية التبخر: تشمل بشكل أساسي تنظيف الركيزة ، تبخر المواد العضوية ، وتبخر المواد الكاثود.
(3) عملية التغليف: أولاً ، يتم تصنيع تغليف فيلم OLED القائم على السيليكون باستخدام معدات PECVD و ALD ؛ بعد ذلك ، من خلال طلاء مواد مرشح اللون العضوي مع الضوء الأصفر ، يتم عرض الألوان الأساسية الثلاثة (R ، G ، B) المطلوبة لإنتاج OLEDs المستندة إلى السيليكون وتطويرها لإكمال عملية التلوين.
(4) تقنية جسم الشاشة: تشمل بشكل أساسي قطع وتنظيف قطع الشاشة الكبيرة ، بالإضافة إلى خطوات التفتيش الكهربائية والبصرية. بعد اجتياز التفتيش ، يتم تخزينها في المستودع.
(5) عملية الوحدة النمطية: من خلال التنظيف ، والترابط اللاصقة ، والقطع ، وفحص المظهر ، والترابط ، وطلاء الغراء ، وفحص المظهر ، والاختبار ، يتم نضجها وتعبئتها للتخزين بعد اجتياز التفتيش.